R&D
Global Applied Parts No.1 Technology
R&D 현황
개발과제
사업진행중Metal 증착 공정용 박막 균일도가 향상된 300mm 반도체 스퍼터용 마그네트론 개발
- 파인원(주) (2seulkim@fine1.kr)
- 작성일 2024.01.23
visibility 30
- 지원사업
- 구매조건부신제품개발사업
- 지원기관
- 중소기업기술정보진흥원
- 과제기간
- 2022~2024
- 현황
- 사업진행중
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- 8.5세대 초청정 능동형 자기장 자동제어 원통형 캐소드 부품 개발
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