R&D
Global Applied Parts No.1 Technology
R&D 현황
개발과제
사업진행중8.5세대 초청정 능동형 자기장 자동제어 원통형 캐소드 부품 개발
- 파인원(주) (2seulkim@fine1.kr)
- 작성일 2024.01.23
visibility 28
- 지원사업
- 소재부품기술개발사업
- 지원기관
- 한국산업기술평가관리원
- 과제기간
- 2021~2024
- 현황
- 사업진행중
- 이전글expand_less
- 8세대 이상급 대형 OLED 장비용 경량화 박막 증착 Transfer Module 개발
- 다음글expand_more
- Metal 증착 공정용 박막 균일도가 향상된 300mm 반도체 스퍼터용 마그네트론 개발