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专利
一种配备有旋转磁体板组件的沉积设备
- 파인원(주) (2seulkim@fine1.kr)
- 작성일 2024.01.23
visibility 109
- 등록여부
- 申请
- 등록번호(출원번호)
- 10-2022-0044929
- 등록여부
- 大韩民国
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- 一种具有冷却功能的磁体板组件的沉积设备
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- 磁控管组件
申请/登记明细
一种配备有旋转磁体板组件的沉积设备
- 파인원(주) (2seulkim@fine1.kr)
- 작성일 2024.01.23
visibility 109
- 등록여부
- 申请
- 등록번호(출원번호)
- 10-2022-0044929
- 등록여부
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