R&D

Global Applied Parts No.1 Technology

R&D 현황

개발과제

성공무탄소 자기냉각시스템용 고효율 H-CUBE 마그넷 부품 개발

  • 파인원(주) (2seulkim@fine1.kr)
  • 작성일 2024.01.23
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지원사업
글로벌기업 연계 부품국산화 지원사업
지원기관
경기테크노파크
과제기간
2023~2024
현황
성공
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Metal 증착 공정용 박막 균일도가 향상된 300mm 반도체 스퍼터용 마그네트론 개발
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2022년 ICT 융합 스마트공장 보급∙확산사업(1차)
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